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MOONS’(鳴志)MSST10-Q在擴散爐\PECVD上的應用

信息發布來源:直線步進電機供應商振合機電
設備功能介紹:

本設備主要用于晶體硅太陽能電池制造中硅片的擴散摻雜。擴散是半導體工藝生產中的一種關鍵工藝,通過擴散所形成的PN結,就是晶體硅太陽能電池的核心。

應用產品型號:

MSST10-Q-RN、23HS3002-29、STM23S-3RE、23HS3811-04

產品應用介紹:

熱擴散爐用2個MSST10-Q-RN、2個23HS3002-29;

(PECVD用1個STM23S-3RE、1個MSST10-Q-RN、1個23HS3811-04)

步進電機用于驅動圖中四個黑框里的模塊上下、前后移動,一個電機裝在模塊上,通過變速箱+絲杠帶動模塊做上下運動,一個電機通過皮帶+滾珠絲杠帶動模塊水平運動。

設備中共有四個工控機,每個工控機控制兩個驅動器(一個模塊)。

目的是送料進入爐中,或從爐中取料出來。

應用環境參數:

負載:同步帶負載,長度3米。

上位機:研祥工控機,

控制模式:主機控制模式,SCL語言編程,客戶自己編寫程序;RS485通訊,兩軸控制,無需插補運動;正反轉限位提供機械保護;

電源:24V開關電源;

細分:20000 step/rev;

速度:300rpm;

動作,低速往復運動,運行10分鐘,靜止1小時。

客戶選用的原因:

主機編程控制,實現全數字化控制,抗干擾能力強。

更多直線步進電機參數知識,請咨詢覃工QQ:176340526


深圳市振合機電設備有限公司主營產品:步進電機、直線步進電機、步進伺服步進驅動器、步進電機驅動器、一體式步進剎車步進電機、防水步進電機、無刷電機、伺服電機等各類型號的步進電機,歡迎來電咨詢。電話:15818698488
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